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Halbleitertechnologie
Halbleitertechnologie von A bis Z
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Grundlagen
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Thema Grundlagen - Der Atombau 306 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - Die Elemente, das PSE 465 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - Chemische Bindungen 297 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - Edelgase 81 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - Leiter - Nichtleiter - Halbleiter 360 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - Dotieren 258 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - pn-Uebergang 199 KB Vorschau
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Thema Grundlagen - FET 1069 KB Vorschau
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12.09.09, 8 Seiten
Thema Grundlagen - Bipolartransistor 482 KB Vorschau
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Waferherstellung
Bereich Waferherstellung 749 KB Vorschau
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Thema Waferherstellung - Silicium 55 KB Vorschau
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Thema Waferherstellung - Rohsilicium 120 KB Vorschau
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Thema Waferherstellung - Einkristall 210 KB Vorschau
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Thema Waferherstellung - Wafer 231 KB Vorschau
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13.09.09, 4 Seiten
Thema Waferherstellung - Dotieren 309 KB Vorschau
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12.09.09, 7 Seiten
Oxidation
Bereich Oxidation 541 KB Vorschau
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Thema Oxidation - Übersicht 63 KB Vorschau
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Thema Oxidation - Oxidation 204 KB Vorschau
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Thema Oxidation - LOCOS 216 KB Vorschau
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Thema Oxidation - Messen 203 KB Vorschau
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Abscheidung
Bereich Abscheidung 718 KB Vorschau
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Thema Abscheidung - Plasma 103 KB Vorschau
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Thema Abscheidung - CVD 426 KB Vorschau
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Thema Abscheidung - PVD 258 KB Vorschau
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Metallisierung
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Thema Metallisierung - Anforderungen 33 KB Vorschau
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Thema Metallisierung - Aluminium 231 KB Vorschau
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Thema Metallisierung - Kupfer 431 KB Vorschau
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Thema Metallisierung - Me-HL-Kontakt 453 KB Vorschau
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Thema Metallisierung - Mehrlagenverdrahtung 181 KB Vorschau
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Lithografie
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Thema Lithografie - Belichten 399 KB Vorschau
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Thema Lithografie - Belichtungsverfahren 413 KB Vorschau
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Thema Lithografie - Fotolack 74 KB Vorschau
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Thema Lithografie - Entwickeln 172 KB Vorschau
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Thema Lithografie - Maskentechnik 581 KB Vorschau
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Nasschemie
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Thema Nasschemie - Ätztechnik 169 KB Vorschau
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Thema Nasschemie - Nassätzen 178 KB Vorschau
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Thema Nasschemie - Scheibenreinigung 238 KB Vorschau
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Trockenätzen
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Thema Trockenätzen - Übersicht 90 KB Vorschau
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Thema Trockenätzen - Trockenätzen 399 KB Vorschau
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