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Halbleitertechnologie von A bis Z

7.6 MB 02.07.10, 148 Seiten

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Grundlagen
	Grundlagen	3047 KB	25.04.10, 38 Seiten
	Grundlagen - Der Atombau	339 KB	25.04.10, 3 Seiten
	Grundlagen - Die Elemente, das PSE	487 KB	25.04.10, 3 Seiten
	Grundlagen - Chemische Bindungen	302 KB	25.04.10, 4 Seiten
	Grundlagen - Edelgase	106 KB	25.04.10, 1 Seite
	Grundlagen - Leiter - Nichtleiter - Halbleiter	373 KB	25.04.10, 6 Seiten
	Grundlagen - Dotieren	274 KB	25.04.10, 4 Seiten
	Grundlagen - pn-Uebergang	204 KB	25.04.10, 2 Seiten
	Grundlagen - FET	1072 KB	25.04.10, 8 Seiten
	Grundlagen - Bipolartransistor	502 KB	25.04.10, 4 Seiten
Waferherstellung
	Waferherstellung	749 KB	25.04.10, 24 Seiten
	Waferherstellung - Silicium	61 KB	25.04.10, 2 Seiten
	Waferherstellung - Rohsilicium	143 KB	25.04.10, 3 Seiten
	Waferherstellung - Einkristall	221 KB	25.04.10, 4 Seiten
	Waferherstellung - Wafer	247 KB	25.04.10, 4 Seiten
	Waferherstellung - Dotieren	342 KB	25.04.10, 7 Seiten
Oxidation
	Oxidation	541 KB	25.04.10, 18 Seiten
	Oxidation - Übersicht	87 KB	25.04.10, 2 Seiten
	Oxidation - Oxidation	233 KB	25.04.10, 5 Seiten
	Oxidation - LOCOS	227 KB	25.04.10, 3 Seiten
	Oxidation - Messen	208 KB	25.04.10, 3 Seiten
Abscheidung
	Abscheidung	718 KB	25.04.10, 21 Seiten
	Abscheidung - Plasma	157 KB	25.04.10, 3 Seiten
	Abscheidung - CVD	429 KB	25.04.10, 9 Seiten
	Abscheidung - PVD	307 KB	25.04.10, 4 Seiten
Metallisierung
	Metallisierung	1180 KB	02.07.10, 28 Seiten
	Metallisierung - Anforderungen	66 KB	25.04.10, 1 Seite
	Metallisierung - Aluminium	258 KB	25.04.10, 4 Seiten
	Metallisierung - Kupfer	434 KB	25.04.10, 9 Seiten
	Metallisierung - Me-HL-Kontakt	484 KB	25.04.10, 5 Seiten
	Metallisierung - Mehrlagenverdrahtung	205 KB	02.07.10, 4 Seiten
Lithografie
	Lithografie	1466 KB	25.04.10, 27 Seiten
	Lithografie - Belichten	420 KB	25.04.10, 5 Seiten
	Lithografie - Belichtungsverfahren	423 KB	25.04.10, 6 Seiten
	Lithografie - Fotolack	85 KB	25.04.10, 2 Seiten
	Lithografie - Entwickeln	200 KB	25.04.10, 3 Seiten
	Lithografie - Maskentechnik	592 KB	25.04.10, 6 Seiten
Nasschemie
	Nasschemie	563 KB	25.04.10, 17 Seiten
	Nasschemie - Ätztechnik	181 KB	25.04.10, 2 Seiten
	Nasschemie - Nassätzen	206 KB	25.04.10, 5 Seiten
	Nasschemie - Scheibenreinigung	260 KB	25.04.10, 6 Seiten
Trockenätzen
	Trockenätzen	494 KB	25.04.10, 16 Seiten
	Trockenätzen - Übersicht	95 KB	25.04.10, 2 Seiten
	Trockenätzen - Trockenätzen	421 KB	25.04.10, 7 Seiten