Lexikon: E
Index anzeigenEllipsometrie
Die Ellipsometrie bezeichnet ein Verfahren zur Messung der Schichtdicke, das sich die Wechselwirkung des Lichts mit der zu messenden Schicht zu Nutze macht.
Durch die unterschiedliche Polarisation (Schwingung) des Lichts vor dem Auftreffen auf der Schicht und danach kann die Schichtdicke sehr genau bestimmt werden.
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