Haftvermittler
Bevor die Wafer mit Photolack beschichtet werden können, werden sie mit Haftvermittler vorbehandelt. Dieser dient dazu die hydrophile Waferoberfläche in eine hydrophobe Oberfläche umzuwandeln, auf der dann der hydrophobe Photolack besser haftet. Als Haftvermittler verwendet man üblicherweise HMDS (Hexamethyldisilazan).