Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Konformität

Die Konformität K beschreibt das Aufwachsverhältnis einer Schicht von vertikalen Flächen zu horizontalen Flächen bei der Abscheidung:

K = Rvert. / Rhor.

Ist K = 1 wächst die Schicht an vertikalen und horizontalen Flächen gleich schnell auf. Bei K > 1 werden vertikale Bereiche schneller bedeckt als horizontale. Bei K < 1 werden horizontale Bereiche schneller bedeckt als vertikale.