Pyrolyse
Unter Pyrolyse [griech. pyr: Feuer, lysis: Auflösung] versteht man die thermische Zersetzung von chemischen Verbindungen.
Bei CVD-Verfahren werden Gase pyrolisiert, um die gewünschten Stoffe zur Abscheidung zu erhalten (z.B: Silan [SiH
4] wird zersetzt in Silicium [Si] + Wasserstoff [2H
2] und reagiert mit Sauerstoff [O
2] zu Siliciumdioxid [SiO
2] und Wasser [2H
2O]).