Quarzboot
Quarzboote nennt man die aus Quarzglas (also Siliciumoxid) bestehenden Träger, auf die die Wafer immer dann verladen werden, wenn sie im darauffolgenden Prozess stark erhitzt werden, wie z.B. bei der thermischen Oxidation oder beim Annealing.
Dies hat zwei Gründe. Erstens hält Quarz die hohen Temperaturen von bis zu 1200 °C aus. Zweitens verunreinigt es als Siliciumverbindung nicht die Wafer durch ungewollte Diffusion von Dotieratomen.
Dies hat zwei Gründe. Erstens hält Quarz die hohen Temperaturen von bis zu 1200 °C aus. Zweitens verunreinigt es als Siliciumverbindung nicht die Wafer durch ungewollte Diffusion von Dotieratomen.