Ramp down

Unter Ramp down versteht man das langsame Herunterfahren der Temperatur eines Ofens von der eigentlichen Prozesstemperatur auf den Stand-by Modus. Damit gewährleistet man, dass alle Wafer gleichzeitig Abkühlen, was bei einem Ausfahren der Wafer bei Prozesstemperatur nicht der Fall wäre. Deshalb steuert man erst den Stand-by Modus an, was einer etwas reduzierten Temperatur entspricht, und fährt die Wafer erst dann langsam aus dem Ofen aus.

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