Versatz

Befinden sich zwei übereinanderliegende Strukturen des Wafers (z.B. Bondlands und Leiterbahnen) nicht exakt übereinander, so spricht man von einem Versatz. Ist der Versatz zu groß, kann dies die gesamte Schaltung unbrauchbar machen, z.B. durch einen Kurzschluss.

Um den Versatz so klein wie möglich zu halten, muss der Wafer vor dem Belichten justiert werden. Dabei sollte die Justiergenauigkeit deutlich besser sein, als die kleinsten Strukturen der Schaltung.

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