Verspannung

Verspannungen im Wafer können zu Rissen führen und die Schaltung somit unbrauchbar machen. Verspannungen entstehen
  • durch ungleichmäßiges Erhitzen der Wafer
  • beim Aufbringen neuer Schichten bei hohen Temperaturen und anschließendem Abkühlen, wobei sich die Schichten unterschiedlich stark zusammenziehen
  • durch Materialinhomogenitäten, z.b. beim LOCOS, wenn der Übergang zwischen Dickoxid und dünner Oxidschicht (der sog. Vogelschnabel) zu abrupt ist

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