Halbleitertechnologie von A bis Z

Radikale sind Atome oder Moleküle mit ungepaarten Elektronen, und daher meist sehr reaktionsfreudig und kurzlebig. Radikale entstehen zum Beispiel wenn Moleküle durch Energieeinwirkung gespalten werden: F₂ + Energie -> 2 F. Radikale sind elektrisch neutral, ein Fluorradikal besitzt 9 Elektronen und 9 Protonen.

Radikale werden u.a. beim Plasmaätzen eingesetzt um komplette Schichten abzutragen. Die Teilchen sind ungeladen und bewegen sich so völlig frei im Raum, was zu einer isotropen Ätzung führt.