Ramp up
Unter Ramp up versteht man das langsame Hochfahren der Temperatur des beladenen Ofens vom Stand-by Modus auf die eigentliche Prozesstemperatur. Man fährt die Wafer im Stand-by Modus und nicht bei Prozesstemperatur in den Ofen ein, damit alle Wafer gleich lang der Prozesstemperatur ausgesetzt werden. Dieses exakte Einhalten der Prozessparameter ist enorm wichtig, da nur so für alle Wafer die angestrebten Ergebnisse erzielt werden können.