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Abscheidung
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Inhalt
Plasma, der 4. Aggregatzustand
Plasmazustand
Plasmaerzeugung
CVD Verfahren
Silicium-Gasphasenepitaxie
CVD-Verfahren
APCVD: Atmospheric Pressure CVD
LPCVD: Low Pressure CVD
PECVD: Plasma Enhanced CVD
ALD: Atomic Layer deposition
PVD Verfahren
MBE: Molekularstrahlepitaxie
Aufdampfen
Sputtern: Kathodenzerstäubung
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