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Oxidation

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Inhalt

Übersicht
- Anwendungen
- Eigenschaften von Oxidschichten
Erzeugung von Oxidschichten
- Thermische Oxidation
- Oxidation durch Abscheidung
Die LOCOS-Technik
- Höchstintegration auf Chips
- Der Vogelschnabel
Schichtdickenmessung

Schichtdickenmessung Nach oben Übersicht

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