Technologieknoten von 10 µm bis 11 nm

Skala
3
µm
Skala
1,5
µm
Skala
1
µm
Skala
800
nm
Skala
600
nm
Skala
350
nm
Skala
250
nm
Skala
180
nm
Skala
130
nm
Skala
90
nm
Skala
65
nm
Skala
45
nm
Skala
32
nm
Skala
22
nm
Skala
16
nm
Skala
11
nm

180 nm (0,18 µm)

Der 180-nm-Prozess bezieht sich auf die Fertigungstechnologie, die ab 1999 bei den führenden Halbleiterherstellern wie Intel, Texas Instruments, IBM und TSMC zum Einsatz kam.

Gemäß der historischen Entwicklung, nach der die Strukturen alle 2-3 Jahre um den Faktor 1,4 verkleinert werden (dies entspricht einer Halbierung der Chipfläche), folgt der 180-nm-Technologieknoten auf den 250-nm-Prozess. Die Bezeichnung wird von der International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) festgelegt.

Einer der ersten Prozessoren, der mit dieser Technologie gefertigt wurde, war der Intel Pentium III (Coppermine). Erstmals lag hierbei die Strukturgröße unterhalb der Wellenlänge der eingesetzten Argon-Fluorid-Laser (193 nm).

Von AMD in der Massenfertigung eingeführte Technologie:
  • Kupfertechnologie zur Verdrahtung der Schaltung (2000)

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