Herstellung, Anwendungsbeispiele und Messung von Oxidschichten.

Plasmaerzeugung, Übersicht chemischer und physikalischer Abscheideverfahren.

Übersicht über die Prozessabläufe in der Fototechnik und Maskentechnologie.

Nasschemische Ätzung, Scheibenreinigung und Reinraumtechnik.

Grundlagen und wichtige Größen beim Trockenätzen und Trockenätzverfahren.

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