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Grundlagen Grundlagen der Chemie und Halbleiter technologie.
Waferherstellung Vom Sandkorn bis zum fertigen Siliciumwafer.
Oxidation Herstellung, Anwendungsbeispiele und Messung von Oxidschichten.
Abscheidung Übersicht der Abscheideverfahren, Plasma und Plasmaerzeugung.
Metallisierung Kontaktierung der Bauteile, Aluminium- und Kupfertechnologie.
Lithografie Übersicht über die Prozessabläufe in der Fototechnik.
Nasschemie Nasschemische Ätzung, Scheibenreinigung und Reinraumtechnik.
Trockenätzen Trockenätzen und Trockenätzverfahren.
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