| Grundlagen |
Grundlagen der Chemie und Halbleitertechnologie. |
| Waferherstellung |
Vom Sandkorn bis zum fertigen Siliciumwafer. |
| Oxidation |
Herstellung, Anwendungsbeispiele und Messung von Oxidschichten. |
| Abscheidung |
Übersicht der Abscheideverfahren, Plasma und Plasmaerzeugung. |
| Metallisierung |
Kontaktierung der Bauteile, Aluminium- und Kupfertechnologie. |
| Lithografie |
Übersicht über die Prozessabläufe in der Fototechnik. |
| Nasschemie |
Nasschemische Ätzung, Scheibenreinigung und Reinraumtechnik. |
| Trockenaetzen |
Trockenätzen und Trockenätzverfahren. |
| Lexikon |
Begriff unklar? Kein Problem, das Lexikon weiß Bescheid. |
| Bilder |
Hier finden Sie Bilder zum Thema Halbleiter. |
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