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Grundlagen der Chemie und Halbleiter technologie. |
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Vom Sandkorn bis zum fertigen Siliciumwafer. |
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Herstellung, Anwendungsbeispiele und Messung von Oxidschichten. |
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Übersicht der Abscheideverfahren, Plasma und Plasmaerzeugung. |
| Metallisierung |
Kontaktierung der Bauteile, Aluminium- und Kupfertechnologie. |
| Lithografie |
Übersicht über die Prozessabläufe in der Fototechnik. |
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Nasschemische Ätzung, Scheibenreinigung und Reinraumtechnik. |
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Trockenätzen und Trockenätzverfahren. |
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