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Lithografie

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Index

Belichten und Belacken

• · Übersicht
• · Aufbringen eines Haftvermittlers
• · Belacken
• · Belichtung
• · Eingesetzte Belichtungsverfahren

Belichtungsverfahren

• · Übersicht
• · Kontaktbelichtung
• · Abstandsbelichtung
• · Reduzierende Projektionsbelichtung
• · Elektronenstrahllithografie
• · Röntgenstrahllithografie
• · Weitere Verfahren

Der Fotolack

• · Lacktechnik
• · Chemische Zusammensetzung

Entwickeln und Kontrolle

• · Entwickeln
• · Lackkontrolle
• · Lackentfernen

Maskentechnik

• · Maskentechnik
• · Schritte bei der Maskenherstellung
• · Maskentypen
• · Belichtungsverfahren der nächsten Generation

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