• » Grundlagen
• » Waferherstellung
• » Oxidation
• » Abscheidung
• » Metallisierung
• » Lithografie
• Belichten und Belacken
• Belichtungsverfahren
• Der Fotolack
• Entwickeln und Kontrolle
• Maskentechnik
• » Nasschemie
• » Trockenätzen

Lithografie

Inhalt

• Belichten und Belacken
  • Übersicht
  • Aufbringen eines Haftvermittlers
  • Belacken
  • Belichtung
  • Eingesetzte Belichtungsverfahren
• Belichtungsverfahren
  • Übersicht
  • Kontaktbelichtung
  • Abstandsbelichtung
  • Reduzierende Projektionsbelichtung
  • Elektronenstrahllithografie
  • Röntgenstrahllithografie
  • Weitere Verfahren
• Der Fotolack
  • Lacktechnik
  • Chemische Zusammensetzung
• Entwickeln und Kontrolle
  • Entwickeln
  • Lackkontrolle
  • Lackentfernen
• Maskentechnik
  • Maskentechnik
  • Schritte bei der Maskenherstellung
  • Maskentypen
  • Belichtungsverfahren der nächsten Generation

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