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Silicium
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Eigenschaften von Silicium
Herstellung des Rohsiliciums
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Herstellung von Rohsilicium
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Reinigung von Rohsilicium
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Zonenreinigung
Herstellung des Einkristalls
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Der Einkristall
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Kristallziehverfahren nach Czochralski
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Tiegelfreies Zonenziehen
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Entstehung der Wafer
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Wafervereinzelung und Oberflächenveredelung
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Entwicklung der Wafergröße
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Diffusion
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Ionenimplantation
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