• » Grundlagen
• » Waferherstellung
• Silicium
• Herstellung des Rohsiliciums
• Herstellung des Einkristalls
• Entstehung der Wafer
• Dotiertechniken
• » Oxidation
• » Abscheidung
• » Metallisierung
• » Lithografie
• » Nasschemie
• » Trockenätzen

Waferherstellung

Inhalt

• Silicium
  • Eigenschaften von Silicium
• Herstellung des Rohsiliciums
  • Herstellung von Rohsilicium
  • Reinigung des Rohsiliciums
  • Zonenreinigung
• Herstellung des Einkristalls
  • Der Einkristall
  • Kristallziehverfahren nach Czochralski
  • Tiegelfreies Zonenziehen
• Entstehung der Wafer
  • Wafervereinzelung und Oberflächenveredelung
  • Entwicklung der Wafergröße
• Dotiertechniken
  • Begriff
  • Diffusion
  • Diffusionsverfahren
  • Ionenimplantation

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