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Waferherstellung

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Index

Silicium

• · Eigenschaften von Silicium

Herstellung des Rohsiliciums

• · Herstellung von Rohsilicium
• · Reinigung von Rohsilicium
• · Zonenreinigung

Herstellung des Einkristalls

• · Der Einkristall
• · Kristallziehverfahren nach Czochralski
• · Tiegelfreies Zonenziehen

Entstehung der Wafer

• · Wafervereinzelung und Oberflächenveredelung
• · Entwicklung der Wafergröße

Dotiertechniken

• · Begriff
• · Diffusion
• · Diffusionsverfahren
• · Ionenimplantation
• · Dotierung mittels Legierung

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