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Nasschemie

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Index

Ätztechnik allgemein

• · Übersicht

Nassätzen

• · Prinzip
• · Anforderung
• · Tauchätzung
• · Sprühätzung
• · Anisotrope Siliciumätzung
• · Ätzlösungen für isotrope Ätzungen

Scheibenreinigung

• · Der Reinraum
• · Arten der Verunreinigung
• · Mikroskopische Verunreinigungen
• · Molekulare Verunreinigungen
• · Alkalische und metallische Verunreinigungen
• · Reinigungstechniken

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