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Nasschemie

Inhalt

• Ätztechnik allgemein
  • Übersicht
• Nassätzen
  • Prinzip
  • Anforderung
  • Tauchätzung
  • Sprühätzung
  • Anisotrope Siliciumätzung
  • Ätzlösungen für isotrope Ätzungen
• Scheibenreinigung
  • Der Reinraum
  • Arten der Verunreinigung
  • Mikroskopische Verunreinigungen
  • Molekulare Verunreinigungen
  • Alkalische und metallische Verunreinigungen
  • Reinigungstechniken

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