Feldoxid
Feldoxid (FOX) ist ein dickes Oxid (einige hundert Nanometer), das mittels feuchter Oxidation erzeugt wird.
Es findet meist Anwendung als seitliche Isolation zwischen leitenden bzw. aktiven Bereichen (Transistoren).
Es findet meist Anwendung als seitliche Isolation zwischen leitenden bzw. aktiven Bereichen (Transistoren).