Spektroskopie
Die Spektroskopie bezeichnet ein Verfahren zur Messung der Schichtdicke, das sich das Farbspektrum des Lichts zu Nutze macht.
Je nach Dicke reflektieren Schichten ganz bestimmte Wellenlängen des Lichts zurück. Mit einem Messgerät wird die Wellenlänge ermittelt und so die Schichtdicke errechnet. Auch beim Ätzen kann die Wellenlänge und Intensität des Lichts ausgenutzt werden, um zu erkennen, wann eine Schicht vollständig abgetragen und die darunterliegende erreicht wurde.
Auf Grund der unterschiedlichen Farben kann man mit dem unbewaffneten Auge bspw. auch die Oxiddicke auf einem Wafer grob bestimmen.