Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Anisotropie

Der Begriff Anisotropie [griech. isos: gleich, tropos: Richtung] ist in der Ätztechnik gebräuchlich. Bei einer anisotropen Ätzung geschieht der Materialabtrag nur in einer Richtung (z.B. senkrecht), was vor allem bei der Strukturierung von Schichten wichtig ist.

Ätzen
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