Nasschemie

Ätztechnik allgemein

• Übersicht

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Nassätzen

• Prinzip
• Anforderung
• Tauchätzung
• Sprühätzung
• Anisotrope Siliciumätzung
• Ätzlösungen für isotrope Ätzungen
• Trocknen der Scheiben

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Scheibenreinigung

• Arten der Verunreinigung
• Mikroskopische Verunreinigungen
• Molekulare Verunreinigungen
• Alkalische und metallische Verunreinigungen
• Reinigungstechniken

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