1. Grundlagen
Aufbau und Funktionsweise dieses Bauelements sind im Grundlagenkapitel Transistoren und Speicher beschrieben. Die folgenden Abschnitte behandeln die Fertigung im Detail, dabei werden jedoch nur die grundlegenden Fertigungsschritte eines einzelnen Transistors betrachtet. Tatsächlich sind hunderte weitere Prozessschritte notwendig, um parallel millionen oder milliarden Transistoren und auch andere Bauelemente auf einem Wafer herzustellen. Neben Messoperationen oder Waferinspektionen, die am eigentlichen Aufbau nichts verändern, können dies zusätzliche Maskenebenen, Ätz- und Abscheideprozesse, Reinigungsschritte und Implantationen und viele weitere sein.