01 Schichtdickenmessung Messtechnik Interferometrie Ellipsometrie Beurteilung der Messung Kapitel öffnen →
02 Partikelmessung Messtechnik Laser-Streulichtmessung Wafer-Map und Klassifizierung Review mit dem Rasterelektronenmikroskop (SEM) Beurteilung der Messung Kapitel öffnen →
03 CD-Messung Messtechnik CD-SEM – Messprinzip Kalibrierung und Referenzmetrologie OCD / Scatterometrie als Alternative CD-Uniformity und Prozesskontrolle Kapitel öffnen →
04 Overlay-Messung Registriergenauigkeit zwischen zwei Ebenen Messtargets Bildbasiert und DBO Overlay-Budget und Fehlerquellen Kapitel öffnen →
