02 CVD-Verfahren Silicium-Gasphasenepitaxie CVD-Verfahren APCVD: Atmospheric Pressure CVD LPCVD: Low Pressure CVD PECVD: Plasma Enhanced CVD ALD: Atomic Layer deposition Spaltfüllung Kapitel öffnen →
03 PVD-Verfahren MBE: Molekularstrahlepitaxie Aufdampfen Sputtern: Kathodenzerstäubung Kapitel öffnen →
