Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Übergang von Strukturdimensionen oberhalb zu unterhalb der Belichtungswellenlänge

Quelle:

  • eigene

Anmerkung: die Daten sind keineswegs vollständig, sondern sollen einen groben Überblick über den Fortschritt in der Halbleiterindustrie geben.