Übergang von Strukturdimensionen oberhalb zu unterhalb der Belichtungswellenlänge
Quelle:
- eigene
Anmerkung: die Daten sind keineswegs vollständig, sondern sollen einen groben Überblick über den Fortschritt in der Halbleiterindustrie geben.
Übergang von Strukturdimensionen oberhalb zu unterhalb der Belichtungswellenlänge
Quelle:
Anmerkung: die Daten sind keineswegs vollständig, sondern sollen einen groben Überblick über den Fortschritt in der Halbleiterindustrie geben.