Oxidation

Industrielle Verwendung

• Anwendung von Oxidschichten
• Eigenschaften von Oxidschichten

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Erzeugung von Oxidschichten

• Thermische Oxidation
• Oxidation durch Abscheidung

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Bauelementisolation

• Höchstintegration auf Chips
• Der Vogelschnabel
• Grabenisolation

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