Personal im Reinraum

Die Halbleiterfertigung stellt außergewöhnlich hohe Anforderungen an die Sauberkeit der Umgebung. Dabei ist der Mensch selbst eine der wichtigsten Kontaminationsquellen im Reinraum. Hautschuppen, Haare, Fasern der Kleidung und kleinste Partikel von Schuhen werden bei jeder Bewegung an die Umgebung abgegeben. Hinzu kommen Hautfette, Schweiß, Kosmetika und andere organische Substanzen. Für Strukturen moderner Halbleiterbauelemente können bereits Verunreinigungen problematisch sein, die mit bloßem Auge nicht sichtbar sind.

Der Reinraumanzug soll deshalb in erster Linie das Produkt vor dem Menschen schützen. Er bildet eine Barriere zwischen Körper und Reinraum und hält einen großen Teil der vom Menschen erzeugten Partikel zurück. Ein Reinraumanzug ist allerdings nicht automatisch eine persönliche Schutzausrüstung gegen Prozesschemikalien. Beim Arbeiten mit Säuren, Laugen, Lösemitteln oder anderen gefährlichen Stoffen können zusätzlich Schutzbrille, Gesichtsschutz, chemikalienbeständige Handschuhe oder eine Schutzschürze erforderlich sein.

Auch die Zahl der Personen im Reinraum wird möglichst gering gehalten. Jeder zusätzliche Mitarbeiter erhöht die Partikelbelastung und bringt Wärme in den Raum ein, die wiederum von der Klimatisierung abgeführt werden muss. Deshalb erhalten normalerweise nur geschulte und für den jeweiligen Bereich freigegebene Personen Zugang.

Der Zugang zum Reinraum erfolgt nicht direkt aus einem normalen Flur, sondern über eine Personenschleuse mit Umkleidebereich, häufig als Gowning Area bezeichnet. Sie bildet den Übergang zwischen normaler Umgebung und kontrollierter Reinraumzone.

Die genaue Einschleusprozedur unterscheidet sich zwischen den Fabriken. Das Grundprinzip ist jedoch immer gleich: Mit jedem Schritt in Richtung Reinraum wird die Umgebung sauberer, und einmal gereinigte Kleidung darf nicht wieder mit der unreinen Seite der Schleuse in Kontakt kommen.

Bereits vor der eigentlichen Reinraumkleidung können Anforderungen an die normale Kleidung gelten. Schuhe müssen beispielsweise vollständig geschlossen sein, die Beine sollen bedeckt sein und stark fusselnde Kleidungsstücke sind ungeeignet. Haare werden vollständig unter einem Haarnetz eingeschlossen; bei Bartträgern kann zusätzlich eine Bartabdeckung erforderlich sein. Kosmetika können eingeschränkt oder verboten sein, da Puder, Make-up und andere Produkte zusätzliche Partikel oder organische Stoffe abgeben können.

Vor dem Betreten des saubereren Bereichs werden die Schuhe beispielsweise über eine klebende Matte geführt und mit Überschuhen versehen. Je nach Schleusenkonzept trennt eine Sitzbank oder eine andere bauliche Grenze die unreine von der sauberen Seite. Beim Überqueren dieser Grenze wird jeweils nur der bereits geschützte Fuß auf die saubere Seite gesetzt.

Auch Werkzeuge, Messgeräte, Proben und andere Gegenstände dürfen nicht ungeprüft von außen in den Reinraum gebracht werden. Ihre Oberflächen werden gegebenenfalls gereinigt oder mit geeigneten Reinraumtüchern abgewischt. Gewöhnlicher Karton, Holz und viele Papiersorten sind ungeeignet, weil sie Fasern und Partikel freisetzen können. Für Dokumentationen wird deshalb beispielsweise spezielles Reinraumpapier verwendet.