1. Einführung & Motivation
Wenn die Maske nicht mehr das druckt, was sie zeigt
Eine Fotomaske enthält im Idealfall exakt die Geometrie, die später auf dem Wafer erscheinen soll: ein Rechteck auf der Maske ergibt ein Rechteck im Resist. Dieses Ideal gilt jedoch nur, solange die kleinsten Strukturen auf der Maske deutlich größer sind als die Wellenlänge des verwendeten Lichts. Sobald Strukturgröße und Wellenlänge in dieselbe Größenordnung geraten, dominieren Beugungseffekte das Abbildungsverhalten – Kanten werden nicht mehr scharf abgebildet, sondern durch das optische System systematisch verzerrt.
Dieses Verhältnis wird durch den sogenannten k1-Faktor beschrieben, der die erreichbare Auflösung ins Verhältnis zu Wellenlänge und Apertur des Belichtungssystems setzt. Moderne Prozesse arbeiten mit k1-Werten deutlich unterhalb dessen, was klassische, unkorrigierte Optik noch scharf abbilden kann – die Wellenlänge der Belichtung (in vielen Nodes weiterhin 193 nm) ist damit größer als die zu druckende Strukturbreite selbst. Bei einem derart „unterauflösenden" Prozess reicht eine reine 1:1-Übertragung der gewünschten Geometrie nicht mehr aus.
Optical Proximity Correction: die Maske vorverzerren
Optical Proximity Correction (OPC) löst dieses Problem, indem sie das Problem umkehrt: Statt zu versuchen, die Optik perfekter zu machen, wird die Maskengeometrie so vorverzerrt, dass die bekannten, vorhersagbaren Abbildungsfehler des optischen Systems das gewünschte Ergebnis auf dem Wafer erzeugen. Eine Ecke, die ohne Korrektur abgerundet würde, wird auf der Maske bereits überzeichnet, damit sie nach der Abbildung wieder scharf erscheint.
OPC ist damit kein nachträglicher Reparaturschritt, sondern fester Bestandteil des Maskendatenflusses: Jedes moderne Layout durchläuft vor der eigentlichen Maskenherstellung eine automatisierte OPC-Software, die auf Basis eines kalibrierten Modells des Belichtungsprozesses die Geometrie chipweit anpasst. Ohne diesen Schritt wären die meisten heutigen Strukturgrößen mit der verfügbaren Belichtungswellenlänge schlicht nicht fertigbar.
Das folgende Diagramm zeigt das Grundproblem an einem einfachen Beispiel: links das gewünschte Layout, rechts das Ergebnis, das ohne Korrektur tatsächlich gedruckt würde.