15.10.2026
Ohne die Maschinenbauer gäbe es keine moderne Chipindustrie. Von frühen Diffusionsöfen und Messgeräten über Nikon-Stepper, AMAT-Abscheideanlagen, Lam-Plasmaätzer und KLA-Inspektionssysteme bis zu ASMLs EUV-Lithografie: Die Geschichte von Tokyo Electron, Applied Materials, Lam Research, KLA, ASML, Ebara, Therma-Wave und vielen weiteren Ausrüstern zeigt, wie spezialisierte Werkzeuge Milliarden von Transistoren erst herstellbar machten.
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