01 Personal im Reinraum Der Mensch als Kontaminationsquelle Personenschleuse und Einschleusen Reinraumkleidung Verhalten im Reinraum Ausschleusen aus dem Reinraum Kapitel öffnen →
02 Aufbau und Versorgung des Reinraums Der Reinraum als Teil der Fabrik Luftaufbereitung über dem Reinraum Filterdecke und Luftströmung Druck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit Subfab und Basement Gase, Chemikalien und Prozessabluft Kapitel öffnen →
03 Fertigungsbereich und Waferlogistik Reinraumklassen Nicht die gesamte Fab besitzt dieselbe Reinheit Prozessanlagen im Reinraum FOUP und Load Port Automatischer Wafertransport Prozessweg und Produktionssteuerung Überwachung des Reinraums Kapitel öffnen →
