Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Belichtung

Bei der Belichtung wird die photoaktive Komponente im Photolack in einer photochemischen Reaktion umgewandelt. Hierzu ist es notwendig, den Lack mit einer Mindestmenge an Licht zu bestrahlen. Lichtintensität und Belichtungszeit sind genau einzuhalten. Gebräuchliche Positivlacke enthalten Diazonaphtochinon als photoaktive Komponente. Dieses reagiert unter Einwirkung von UV-Licht und bei Anwesenheit von Wasser zu Carboxylsäure, welche in NaOH als Entwicklerflüssigkeit löslich ist.
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