Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Bor

Bor ist neben Phosphor eines der wichtigsten Dotierelemente in der Halbleiterfertigung.

Das dreiwertige Halbmetall (3 Valenzelektronen) kann in einen Siliciumkristall eingebaut werden. Dabei geht jedes der drei Valenzelektronen eine Atombindung mit je einem Außelektron eines Siliciumatoms ein.

Bordotierung

Um mit dem vierten Siliciumatom eine Bindung eingehen zu können, kann das Boratom ein Elektron aufnehmen (= Akzeptor); dabei entsteht an anderer Stelle ein positives Loch. Dieses verhält sich analog zu den negativen Elektronen wie ein freibeweglicher positiver Ladungsträger.

Ein anderes Elektron kann dieses Loch auffüllen, es hinterlässt jedoch an anderer Stelle ein neues. So wandern die Löcher und Elektronen in entgegengesetzter Richtung im Kristall.

Da die Leitfähigkeit auf positiven Löchern beruht nennt man diesen Halbleiter p-Leiter oder p-dotiert.

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