Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Dehydrierung

Unter Dehydrierung versteht man das Erhitzen des Wafers auf über 100°C, um auf der Oberfläche angelagertes Wasser zu verdampfen. Dies ist z.B. in der Phototechnik (Lithographie) notwendig, da der hydrophobe Photolack auf nicht dehydrierten Wafern nicht haftet.
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