Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Diffusion

Unter Diffusion [lat. diffusio: das Auseinanderfließen] versteht man die selbständige Ausbreitung eines Stoffes in einem anderen Stoff auf Grund eines Konzentrationsgefälles. D.h. die Teilchen bewegen sich solange bis eine gleichmäßige Verteilung erreicht ist.

Im Siliciumkristall finden wir ein festes Gitter von Atomen vor, durch das sich der Dotierstoff bewegen muss. Dies geschieht durch Leerstellendiffusion (fehlende Siliciumatome im Kristall werden vom Dotierstoff besetzt), durch Zwischengitterdiffusion (die Dotierstoffatome bewegen sich zwischen den Siliciumatomen im Kristallgitter) oder durch Platzwechsel (Dotierstoffatome die sich im Siliciumgitter befinden tauschen mit Siliciumatomen den Gitterplatz).
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