Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Dotierstärke

Unter der Dotierstärke versteht man die Konzentration der Fremdatome im Siliciumkristall. Man gibt sie mit der Anzahl der Atome pro Kubikzentimeter an, z.B. 5·1017 Dotieratome pro cm3. Da ein Kubikzentimeter Silicium in etwa 1023 Atome enthält, kommen auf 100.000 Siliciumatome ein Fremdatom. Die Dotierstärke bestimmt den spezifischen Widerstand des Kristalls, denn umso größer die Konzentration an Dotieratomen, desto größer die Leitfähigkeit des dotierten Bereichs.
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