Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Edelgas

Edelgase sind die Elemente in der achten Hauptgruppe im Periodensystem (PSE), deren äußere Schale mit 8 Elektronen voll besetzt ist: Helium, Neon, Argon, Krypton, Xenon und Radon (Ausnahme bei Helium: hier ist der Edelgaszustand bereits mit 2 Elektronen erreicht).

Diese voll besetzte äußere Achterschale stellt einen besonders stabilen Zustand dar, den alle Atome erreichen wollen. Metallen und Nichtmetallen gelingt dies mittels Ionenbindung durch Elektronenabgabe bzw. -aufnahme.

Atome mit acht Außenelektronen gehen kaum Verbindungen ein; lediglich einige Xenon-Fluor-Verbindungen und wenige andere sind möglich.

Argon und Stickstoff finden in der Halbleitertechnik Anwendung, da sie als Inertgase [lat. inert: untätig, träge] den Wafer in der Prozesskammer vor Oxidation schützen (z.B. als Spülgas im Ofenprozess).
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