Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Elektrisches Feld

Im Raum zwischen zwei elektrisch geladenen Körpern besteht ein elektrisches Feld, in dem Kräfte auf geladene Körper wirken. Bringt man nun ein elektrisch geladenes Teilchen, z.B. ein positives Ion, in das elektrische Feld, so wird dieses zur negativen Ladung hin beschleunigt.

Dieses Prinzip verwendet man z.B. bei der Ionenimplantation. Dabei werden die Dotierionen in einem durch eine an Elektroden angelegte Spannung erzeugten elektrischen Feld beschleunigt. Die angelegte Spannung regelt hierbei die Stärke des elektrischen Feldes und damit die Geschwindigkeit der beschleunigten Ionen.
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