Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Gelbraum

Die in der Phototechnik üblicherweise verwendeten Photolacke reagieren in erster Linie auf UV-Licht empfindlich. Sie besitzen jedoch hinauf bis zu einer Wellenlänge von ca. 500 nm eine gewisse Restempfindlichkeit. Deshalb muss beim Umgang mit diesen Lacken grundsätzlich im Gelblichtraum gearbeitet werden, da gelbes Licht mit einer Wellenlänge von mehr als etwa 560 nm zu energiearm ist, um den Photolack zu schädigen. Auch bei den Lichtmikroskopen für die optische Kontrolle darf nur Licht in diesem Wellenlängenbereich verwendet werden.
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