Inertgas
Unter einem Inertgas versteht man ein Gas, das sich an keiner chemischen Reaktion beteiligt. Inertgase sind also äußerst reaktionsträge und reagieren auch bei hohen Temperaturen nicht mit anderen Substanzen.
In der Halbleiterherstellung verwendet man Inertgase als Schutz- oder Spülgase, als Trägergas für den Bubbler oder als Sputtergas. Edelgase sind die am häufigsten verwendeten Inertgase, aber auch Stickstoff ist bei bestimmten Prozesschritten ein Inertgas, solange die Temperaturen nicht oberhalb 1300 °C liegen oder sehr agressive Chemikalien verwendet werden. In der Regel müssen jedoch für verschiedene Prozesschritte unterschiedliche Inertgase verwendet werden.
In der Halbleiterherstellung verwendet man Inertgase als Schutz- oder Spülgase, als Trägergas für den Bubbler oder als Sputtergas. Edelgase sind die am häufigsten verwendeten Inertgase, aber auch Stickstoff ist bei bestimmten Prozesschritten ein Inertgas, solange die Temperaturen nicht oberhalb 1300 °C liegen oder sehr agressive Chemikalien verwendet werden. In der Regel müssen jedoch für verschiedene Prozesschritte unterschiedliche Inertgase verwendet werden.