Interferometrie
Die Interferometrie bezeichnet ein Verfahren zur Messung der Schichtdicke, das sich die Überlagerung von Lichtstrahlen zu Nutze macht.
Überlagern sich zwei Lichtwellen, können sich die Strahlen verstärken, abschwächen oder auch komplett auslöschen. Das bei der Messung auf den Wafer einfallende Licht wird dabei an der zu messenden Schicht selbst reflektiert, teilweise durchdringt es diese aber auch und gelangt bis zur nächsten Schicht und wird hier zurückgeworfen.
Je nach Schichtart und -dicke überlagern sich die Lichtwellen auf andere Art und Weise und besitzen eine für die jeweilige Schicht charakteristische Intensität, aus der die Schichtdicke berechnet werden kann.
Überlagern sich zwei Lichtwellen, können sich die Strahlen verstärken, abschwächen oder auch komplett auslöschen. Das bei der Messung auf den Wafer einfallende Licht wird dabei an der zu messenden Schicht selbst reflektiert, teilweise durchdringt es diese aber auch und gelangt bis zur nächsten Schicht und wird hier zurückgeworfen.
Je nach Schichtart und -dicke überlagern sich die Lichtwellen auf andere Art und Weise und besitzen eine für die jeweilige Schicht charakteristische Intensität, aus der die Schichtdicke berechnet werden kann.