Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Isotropie

Der Begriff Isotropie [griech. isos: gleich, tropos: Richtung] ist in der Ätztechnik gebräuchlich. Bei einer isotropen Ätzung geschieht der Materialabtrag in jeder Richtung. Isotrope Ätzungen werden v.a. beim Abtrag kompletter Schichten genutzt; eine gezielte Strukturierung von Schichten ist auf Grund der freien Bewegungsrichtung der für die Ätzung verantwortlichen Teilchen kaum möglich.

Ätzen
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