Isotropie
Der Begriff Isotropie [griech. isos: gleich, tropos: Richtung] ist in der Ätztechnik gebräuchlich. Bei einer isotropen Ätzung geschieht der Materialabtrag in jeder Richtung. Isotrope Ätzungen werden v.a. beim Abtrag kompletter Schichten genutzt; eine gezielte Strukturierung von Schichten ist auf Grund der freien Bewegungsrichtung der für die Ätzung verantwortlichen Teilchen kaum möglich.
