Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Justierung

Bei der Lithographie muss vor der Belichtung der belackten Wafer die Maskenstruktur möglichst exakt über die schon auf dem Wafer vorhandene Struktur gebracht werden, um den Versatz so klein wie möglich zu halten. Diesen Vorgang nennt man Justierung. Sie erfolgt automatisch.

Dazu bestrahlt man Maske und Wafer im Bereich der speziell angeordneten Justiermarken mit einem Laser und misst das reflektierte Licht. Nun wird der Wafer solange parallel zur Maske verschoben, bis das gemessene Signal mit einem Referenzsignal übereinstimmt.
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