Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Kooi-Effekt

Der Kooi- oder White-Ribbon-Effekt ist ein unerwünschter Nebeneffekt, der bei der Feuchtoxidation beim LOCOS-Verfahren auftritt. Dabei reagiert der Wasserstoff der zur Oxidation benötigt wird mit dem Stickstoff der Nitridschicht zu Ammoniak. Dieses kann an die Scheibenoberfläche diffundieren und sich als Nitrid festsetzen.

Das Nitrid muss entfernt werden, da es sonst bei den anschließenden Oxidationsschritten als Maskierschicht wirkt.
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