Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Laser

Ein Laser ist eine Quelle für räumlich und zeitlich kohärentes Licht. Wichtig für Interferenzeffekte ist die äußerst kleine Energiebreite des Lichts, d.h. die Wellenlänge (Farbe) variiert nur ganz wenig um ihren Mittelwert, die zu einer großen Kohärenzlänge führt. Dies ist die Länge, die der Gangunterschied zweier Wellenzüge haben darf, damit diese noch miteinander interferieren können.

Bei der Waferherstellung verwendet man Laserstrahlen zur Schichtdickenbestimmung, zur Belichtung in der Photolithographie (z.B. ArF-Laser) und zur Justierung (Laserinterferometer).
Please enable / Bitte aktiviere JavaScript!