Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Pellicle

Ein Pellicle ist eine dünne, auf einen Rahmen gespannte Folie, die bei Belichtungsverfahren eingesetzt wird.

Dabei wird die Folie in einem bestimmten Abstand zur Belichtungsmaske befestigt und so Partikel, die sonst direkt auf der Maske liegen würden, aus dem Schärfebereich entfernt.

Somit werden keine fehlerhaften Strukturen durch die Partikel auf dem Wafer abgebildet.

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