Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Polymer

Polymere sind meist kohlenstoffhaltige Verbindungen, deren langkettige Moleküle aus einer großen Anzahl gleichartiger Struktureinheiten (den Monomeren) aufgebaut sind.

Die bei der Waferherstellung verwendeten Photolacke enthalten Novolak-Harz als Bindemittel, das unter anderem aus einem Polymer besteht. Außerdem entstehen Polymere bei Plasmaätzvorgängen als Folge einer Reaktion der Schichten und des Photolacks mit dem Ätzgas. Diese Polymere können für den nachfolgenden Prozessverlauf stören und müssen deshalb entfernt werden. Eine solche Reinigung erfolgt durch chemische Reaktion einer Reinigungsflüssigkeit mit den Polymeren bei ca. 90 °C.
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