Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Radikal

Radikale sind Atome oder Moleküle mit ungepaarten Elektronen, und daher meist sehr reaktionsfreudig und kurzlebig. Radikale entstehen zum Beispiel wenn Moleküle durch Energieeinwirkung gespalten werden: F2 + Energie -> 2 F. Radikale sind elektrisch neutral, ein Fluorradikal besitzt 9 Elektronen und 9 Protonen.

Radikalbildung

Radikale werden u.a. beim Plasmaätzen eingesetzt um komplette Schichten abzutragen. Die Teilchen sind ungeladen und bewegen sich so völlig frei im Raum, was zu einer isotropen Ätzung führt.

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