Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Spülgas

Unter einem Spülgas versteht man ein in der Regel inertes Gas, das als steter Strom durch einen Prozessraum geleitet wird. Es soll für einen möglichst reinen Prozessraum sorgen, damit in diesem so wenig wie möglich ungewollte und unkontrollierte chemische Reaktionen mit dort verbliebenen Restgasen ablaufen.

So wird z.B. bei der thermischen Diffusion im Diffusionsofen Stickstoff als Spülgas eingesetzt. Dieser sorgt dafür, dass sich dort so wenig wie möglich Sauerstoff befindet, der zu einer ungewollten Oxidbildung führen würde.
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