Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Entwicklung

Bei der Entwicklung des Photolacks werden je nachdem, ob es sich um Positivlack oder Negativlack handelt die belichteten bzw. die unbelichteten Stellen des Lackes im Entwickler gelöst und so entfernt. Dazu werden die belichteten Wafer entweder in Becken mit Entwicklerflüssigkeit getaucht oder mit ihr besprüht.

Im Fall von Positivlack verwendet man als Entwicklerflüssigkeit üblicherweise Laugen. Diese reagiern zusammen mit der durch die Belichtung im Lack entstandenen Carboxylsäure zu einem wasserlöslichen Salz.

Um die belichteten Strukturen so exakt wie möglich zu übertragen, sind die Temperatur des Entwicklers, die Konzentration des Entwicklers und vor allem die Entwicklungsdauer von enormer Wichtigkeit und müssen genau eingehalten werden.
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